產(chǎn)品特點 | ·500 ~ 10000 RPM 旋轉(zhuǎn)速度(程序控制) ·PTFE腔體,最高加熱溫度200℃,可對旋涂樣品進行干燥 ·適用基片尺寸5mm-130mm ·配有超聲霧化頭,可是旋涂液體霧化 ·加熱型注射泵,可液體加熱后再旋涂 ·上罩頂部有一個進氣口,可在旋涂時通入氣體 |
注液器 | ·3種液體注射方式: ·超聲噴頭材質(zhì)為鈦合金,配有電源控制器(圖1) ·一個是圓錐型-提供窄的霧化噴束~直徑2cm ·一個蘑菇頭型-提供寬的霧化噴束~4cm ·加熱型注射泵,最高溫度120℃(圖2) ·一個20ml塑料注射器 圖1 圖2 圖3 |
涂布腔體 | ·PTFE 腔體具有抗腐蝕性 ·腔體尺寸: 直徑150 mm ·最高加熱溫度: 200°C (<10分鐘) ·一系列PTFE真空吸盤(Φ40mm和Φ10mm) |
真空泵 | ·配有一臺抽速為120L/min的無油真空泵,和直徑Φ8mm的真空管 |
程序控制 | ·可儲存12條運行程序,每套程序可設(shè)置6段步驟 ·轉(zhuǎn)速:500 rpm - 10000 rpm (程序設(shè)定) ·每個步驟最長持續(xù)時間60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec (可調(diào)) ·精度:< 5% |
輸入電源 | ·電壓:AC 220V ·總功率:1000 W ·旋轉(zhuǎn)電機:24VDC 高速電機 |
進氣口 | ·一個直徑為Φ6mm進氣口,在PTFE涂布腔頂部,客戶通入氣體,可在流動氣氛環(huán)境下涂布樣品 |
可選 | ·紫外(UV)燈,365nm波長,可用于旋涂材料固化和聚合 |
產(chǎn)品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終身維護 |
應(yīng)用注意事項 | ·設(shè)備運轉(zhuǎn)必須放在通風柜中,排除廢氣(圖1) ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度,轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù),需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤,否則液體會漏入到電機,損壞設(shè)備。可以用無紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進一步優(yōu)化涂布質(zhì)量,可用等離子體清洗極片后再涂布,可在本公司選購等離子清洗機或等離子槍(圖2&3) 圖1 圖2 圖3 |
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