結(jié)構(gòu) | ·主機殼體采用聚丙烯(PP)材質(zhì),具有強抗腐蝕性 ·控制盒與主機分開,可實現(xiàn)遠程控制 ·配有一個過濾器,連接旋涂機和真空泵,防止廢液進入到真空泵 ·設(shè)備中標(biāo)配一臺無油泵 |
輸入電源 | ·220VAC, 50/60Hz, 單相, 1000W |
腔體&真空吸盤 | ·腔體直徑Φ160mm ·真空吸盤直徑Φ100mm,可直接固定Φ100-152mm基片(圖1) ·若基片直徑<100mm,可購買更小的真空吸盤(需額外費用)(圖2) ·可用膠帶來固定不規(guī)則樣品(圖3) 圖1 圖2 圖3 |
真空泵 | ·配有一臺抽速為120L/min的無油真空泵,和直徑Φ8mm的真空管 |
轉(zhuǎn)速 | ·控制盒上可設(shè)置6段程序,不同旋轉(zhuǎn)時間和轉(zhuǎn)速 ·最多可儲存12條程序,隨時調(diào)用 ·每段之間最大提速/減速為2000rpm ·最長旋轉(zhuǎn)時間6*60s=360s ·轉(zhuǎn)速:500 - 6000 RPM(可設(shè)置) ·可達到10000rpm轉(zhuǎn)速(需要額外費用) ·采用直流電機驅(qū)動,可在Ar環(huán)境下的手套箱內(nèi)使用 |
注液器 | ·標(biāo)配20ml塑料注液器(圖1) ·可選1:精密數(shù)顯電動注液器20-200ul(圖2) ·可選2:加熱型玻璃注液器,最高溫度200℃(圖3) 圖1 圖2 圖3 |
可選 | ·加熱型上蓋,最高溫度120℃,可對樣品在旋涂過程中進行干燥(圖1,圖2) ·真空型旋轉(zhuǎn)涂布機(圖3) ·若旋涂機需要放入手套箱中,請?zhí)崆奥?lián)系我們,需要配一個KF40饋通,來連接旋涂機和控制盒(圖4,圖5) 圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 |
產(chǎn)品尺寸 | 1.旋涂機: 250mm(Φ) x 560mm(H) (開蓋) 2.旋涂機: 250mm(Φ) x 560mm(H) (含注射器) 3.旋涂機: 250mm(Φ) x 560mm(L) x 560mm(H) (開蓋,含注射器,側(cè)視圖) 4.控制盒: 380mm(L) x330mm(W) x150mm(H) 5.溫度控制器:230mm L x 260mm W x 120 mm H 6.真空泵: 290 L x 210 W x 213 H (mm) ·連接線和連接管: ·控制盒與旋涂機連接線: 1.5米 ·真空泵到控制盒連接線: 1.1 米 ·旋涂機與真空泵連接管: 6.37mm 內(nèi)徑x 8 mm 外徑x 1 m長 |
凈重 | ·25kg |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終身維護 |
應(yīng)用注意事項 | ·設(shè)備運轉(zhuǎn)必須放在通風(fēng)柜中,排除廢氣(圖1) ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度,轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù),需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤,否則液體會漏入到電機,損壞設(shè)備??梢杂脽o紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進一步優(yōu)化涂布質(zhì)量,可用等離子體清洗極片后再涂布,可在本公司選購等離子清洗機或等離子槍(圖2&3) 圖1 圖2 圖3 |
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