產(chǎn)品特點(diǎn) | ·500 ~ 12500 RPM 旋轉(zhuǎn)速度(程序控制)(最高13000rpm,<60s) ·PP材質(zhì)防護(hù)罩,具有抗腐蝕性 ·適用基片尺寸Φ10mm-100mm ·上罩頂部有一個(gè)進(jìn)氣口,可在旋涂時(shí)通入氣體 ·配有一個(gè)20ml的塑料注射器 ·可在Ar環(huán)境下的手套箱內(nèi)使用(真空泵必須放置在手套箱外) |
涂布腔體 | ·PP腔體具有抗腐蝕性 ·腔體尺寸: 直徑150mm ·一系列鋁制真空吸盤 |
真空泵 | ·配有一臺(tái)抽速為120L/min的無油真空泵,和直徑Φ8mm的真空管 |
程序控制 | ·可儲(chǔ)存12條運(yùn)行程序,每套程序可設(shè)置6段步驟 ·轉(zhuǎn)速:500rpm - 10000rpm(程序設(shè)定) ·加速度:100 - 2000rpm/sec(可調(diào)) ·精度:< 5% |
輸入電源 | ·電壓:AC 220V ·總功率:1000W ·旋轉(zhuǎn)電機(jī):24VDC高速電機(jī) |
進(jìn)氣口 | ·一個(gè)直徑為Φ6mm進(jìn)氣口,在PTFE涂布腔頂部,客戶通入氣體,可在流動(dòng)氣氛環(huán)境下涂布樣品 |
注液器 | ·標(biāo)配:20ml塑料注液器(圖1) ·可選1:精密數(shù)顯電動(dòng)注液器20-200ul(圖2) ·可選2:加熱型玻璃注液器,最高溫度200℃(圖3) 圖1 圖2 圖3 |
可選 | ·可選1:PE加熱罩,帶有PID溫度控制器,最高溫度120℃(<10分鐘)(圖1) ·可選2:PTFE加熱罩+Φ10mm PTFE真空吸盤,最高加熱溫度200℃(<10分鐘)(圖2) ·可選3:UV LED 365nm波長,可用于旋涂材料固化和聚合 (圖3) 圖1 圖2 圖3 |
產(chǎn)品尺寸 | |
產(chǎn)品重量 | ·12kg |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終身維護(hù) |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | ·設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)必須放在通風(fēng)柜中,排除廢氣(圖1) ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度,轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù),需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤,否則液體會(huì)漏入到電機(jī),損壞設(shè)備??梢杂脽o紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進(jìn)一步優(yōu)化涂布質(zhì)量,可用等離子體清洗極片后再涂布,可在本公司選購等離子清洗機(jī)或等離子槍(圖2&3) 圖1 圖2 圖3 |
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