| 設(shè)備名稱(chēng)型號(hào) | ·反射膜厚儀 SR-C |
| 基本參數(shù) | ·電源：AC 220V 50HZ ·功率：60W ·基本功能：獲取薄膜厚度值以及 R 、N/K 等光譜 ·光譜分析范圍：380nm-1000nm ·測(cè)量光斑大小：標(biāo)準(zhǔn)1.5mm，最小 0.5mm ·膜厚重復(fù)性測(cè)量精度：0.02nm (100nm硅基 SiO2樣件，500次重復(fù)測(cè)量) ·膜厚絕對(duì)精度：0.2% 或 2nm 之間較大者 ·膜厚測(cè)量范圍：15nm-70μm ·測(cè)量 n 和 k 值厚度要求：100nm以上 ·單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間：≤1s ·光源：高性能進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)鹵素?zé)艄庠?/p> ·基板尺寸：最大支持樣件尺寸到200*200mm(可升級(jí)定制不同尺寸樣品臺(tái)) |
| 測(cè)控與分析軟件 | ·分析軟件：多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)，并支持用戶(hù)自定義光學(xué)材料庫(kù)；提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能 ·光譜測(cè)量能力：反射率光譜測(cè)量 ·數(shù)據(jù)分析能力：膜厚分析能力，光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù)) ·支持常用光學(xué)常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等)； ·支持用戶(hù)自定義，可授權(quán)離線(xiàn)分析軟件模擬實(shí)際測(cè)量，支持 windows 10 操作系統(tǒng)
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| 涂裝與表面處理 | ·涂裝顏色：以黑白灰色為主 ·表面處理：鍍化學(xué)鎳、陽(yáng)極處理、烤漆等 |
| 配件 | ·標(biāo)準(zhǔn)SiO2/Si標(biāo)樣 ·K9玻璃標(biāo)樣 ·標(biāo)準(zhǔn)安裝工具一套 |
| 環(huán)境要求 | ·承載臺(tái)：尺寸>1.0m (長(zhǎng))×0.7m (寬)，承載能力大于20Kg ·使用溫度范圍：20 ~ 26 ℃ ·相對(duì)濕度：35% ~ 60% RH ·空氣壓力范圍：750~1014 mbar ·潔凈度：Class 1000 |
| 質(zhì)保與售后服務(wù) | ·整機(jī)硬件質(zhì)保期為12個(gè)月。在質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)各類(lèi)故障供方及時(shí)免費(fèi)維修，對(duì)非人為造成的各類(lèi)零件損壞，及時(shí)免費(fèi)更換 ·測(cè)控與分析軟件：終身免費(fèi)升級(jí)，數(shù)據(jù)分析軟件提供不限量拷貝 ·為用戶(hù)提供全面充分儀器操作與數(shù)據(jù)分析培訓(xùn) ·提供12個(gè)月免費(fèi)數(shù)據(jù)建模與分析技術(shù)支持，免費(fèi)期為用戶(hù)提供樣件材料光學(xué)常數(shù)標(biāo)定與模型庫(kù)升級(jí)服務(wù) |
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