| 設(shè)備名稱型號(hào) | 小型蒸發(fā)鍍膜儀 SPC-1 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | · φ6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品 · 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻 · 氣體流量端口和閥門內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實(shí)驗(yàn) |
| 基本參數(shù) | · 輸入電源：220V，50/60HZ · 功率：＜700W |
| 真空腔室 | · 材質(zhì)：高純石英 · 尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L150mm · 密封法蘭: 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封 · 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上 · 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體
· 真空度：<7.5×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-3 torr （采用渦旋分子泵） |
| 進(jìn)、出氣口 | · 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔室中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。前面板上安裝了一個(gè)微量調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量 · 側(cè)面還有一個(gè)KF25的抽真空接口，內(nèi)置一個(gè)真空計(jì)，可在觸摸屏上顯示腔室真空度 · 腔體頂部法蘭上有一個(gè)排氣口用于排氣 |
| 樣品臺(tái) | · 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻） · 旋轉(zhuǎn)速度：5 r/min · 樣品臺(tái)尺寸：直徑φ50mm （最大可放置2英寸的基片） · 樣品臺(tái)可選配帶加熱功能，最高加熱溫度可達(dá)500℃
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| 溫控及加熱源 | · 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，鎢絲籃兩端的引線連接在法蘭帶內(nèi)部的接線柱上，接線柱的電極線與蒸發(fā)電源相連。電極上安裝了聚四氟絕緣套 · 鎢絲籃尺寸：φ1*22*20mm · 控溫方式：手動(dòng)控溫，通過旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)電源面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值，從而調(diào)節(jié)溫度
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| 蒸發(fā)電源 | · 輸入電壓：AC 220V · 最大輸出功率：500W · 最大輸出電流：0-100A可調(diào) |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號(hào)：VRD-8 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負(fù)載） · 抽氣速率：2.2L/s · 抽氣口：KF25接口
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| 設(shè)備外形尺寸 | 410mm（L）*350mm（W）*580mm（H）
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| 凈重 | 約40kg |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 蒸鍍電流大小取決于蒸鍍的鎢絲藍(lán)，標(biāo)配的鎢絲藍(lán)建議電流≤40A · 蒸鍍儀在工作中嚴(yán)禁旋開試樣室充氣閥充氣、關(guān)閉真空泵。 · 鎢絲藍(lán)必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa）才能通電加熱，否則會(huì)被氧化。 |
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