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高真空蒸發(fā)鍍膜儀
型號：
GSL-1800X-ZF4
產(chǎn)品概述：
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al?、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要特點(diǎn)

真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。

采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于安裝其他設(shè)備）。

在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。
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4個蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。

· 樣品臺安裝在腔體的頂部。

· 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。

可使用循環(huán)水冷機(jī)。
技術(shù)參數(shù)

輸入：單相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW

輸出：0-8V AC 可調(diào)，最大電流400A，最大功率8000W（包括真空泵）

真空腔：Φ300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

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腔門：Φ200mm

觀察窗：Φ95mm，采用專用密封圈密封

真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s（標(biāo)配GZK-103G分子泵）

真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后）

· 極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

· 漏率：5.0×10-7Pa/s

· 樣品臺：Φ140mm

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· 蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm

冷卻水需量：15L/min
產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：650mm×1200mm×1600mm；

重量：600kg
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