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桌面式紫外臭氧清洗機(jī)(12" x 12"腔室和最高150℃的加熱臺(tái)）
型號(hào)：
PCE-22-LD
產(chǎn)品概述：
PCE-22-LD是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤(rùn)濕性，清洗SEM＆TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對(duì)材料無損傷的原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵猓?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效的清除有機(jī)化合物。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱與型號(hào)

紫外臭氧清洗機(jī) PCE-22-LD （科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部2022.6.17審核）
產(chǎn)品特點(diǎn)

· 僅室內(nèi)使用；海拔高度5500英尺以內(nèi)；

· 溫度范圍：5-40℃；

· 最大相對(duì)濕度80%，最高30.5℃，40℃線性降至50%相對(duì)濕度；

· 主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10%；

· 污染等級(jí)2；臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量＜45ppb

· 去除分子級(jí)別的污染物

· 清洗MEMS器件

· 清洗各種基片，如si,Ge,GaAs和各種氧化物單晶基片
基本參數(shù)

· 輸入電壓：AC220V 50/60HZ

· 功率：最大1000W（加熱功率為800W）
腔體＆樣品臺(tái)

· 不銹鋼殼體

· 抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣（如下圖1）

· 基片臺(tái)尺寸：L310*W320mm

· 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

· 樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm-40mm（圖2）

· 樣品臺(tái)可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃

· 可設(shè)置8段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

· 照射設(shè)定時(shí)間：1min-9999min

圖片1.png 圖片2.png
觸摸屏＆加熱

· 一個(gè)4.5英寸的觸摸屏控制設(shè)備的加熱以及清洗功能

· 點(diǎn)擊觸摸屏上的“溫控程序”即可進(jìn)入程序設(shè)置界面，內(nèi)置溫控儀表采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升溫程序，設(shè)備只顯示8段升溫程序，可根據(jù)實(shí)際要求進(jìn)行添加

· 設(shè)備加熱前需進(jìn)行預(yù)熱處理


圖片3.png
排氣口

· 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

· 請(qǐng)將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

· 橡膠管長(zhǎng)度8米

圖片4.png
UV 燈管

·功率:200W;

·輻射面積:L200*W200mm;

·波長(zhǎng):254nm 和185nm

· 可以清潔直徑最大為12英寸×35mm的晶體晶片

圖片5.png
設(shè)備外形尺寸

·555*620*350mm(長(zhǎng)*寬*高)

·打開高為 560mm
凈重

·約36KG
質(zhì)保

·一年保修，終身技術(shù)支持

 使用注意事項(xiàng)

· UV裝置應(yīng)由工礦企業(yè)、院校等相關(guān)專業(yè)人員操作或指導(dǎo)使用。

· 嚴(yán)禁用眼睛直接看點(diǎn)亮中的UV燈管，否則會(huì)對(duì)眼睛造成傷害，非常危險(xiǎn)。

·  O3臭氧是刺激性臭及強(qiáng)氧化性的氣體，對(duì)身體有害。應(yīng)將裝置產(chǎn)生的臭氧利用排氣管道將其排向室外。

· 應(yīng)避免在高溫、多濕、多塵、腐蝕氣體、酸堿性等的環(huán)境中使用。

· 為保護(hù)生命，請(qǐng)務(wù)必連接接地線，并保證可靠。

· 清掃等作業(yè)時(shí)必須先將電源切掉。

·  未經(jīng)許可不可對(duì)本裝置進(jìn)行改造或加工，本公司一概不負(fù)對(duì)已改造、加工設(shè)備的責(zé)任。


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附件

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