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1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD）
關(guān)鍵字：
FBCVD適用于粉末樣品
型號：
OTF-1200X-S-FB
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進行沉積實驗。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

? 1200℃小型流化床CVD爐-OTF-1200X-S-FB
產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備    3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?nbsp;   4、配件妥善保管提示
產(chǎn)品特點

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

? 爐體設(shè)計為開啟式，以方便與更換爐管

? 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命

? 專門針對粉末表面沉積的CVD實驗
基本參數(shù)

? 溫度：最高1200℃ （長期1100℃）

? 建議升溫速率：≤10℃/min

? 熱偶：K型熱偶    

? 電源：220V  

? 最大功率：1.2KW

? 控溫精度：±1℃

? 爐管尺寸：兩端Φ25mm（中間Φ50mm）；長482mm

 圖片1.png


? 爐管材料:采用高純特質(zhì)石英爐管

? 加熱區(qū):加熱區(qū)長度：200mm

? 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

 多孔石英板:

? 孔徑：10-15微米

? 尺寸：φ22mm x 4mm 厚

 圖片2.png 圖片3.png


溫控系統(tǒng):

? 包含一款YD858P型溫度控制器

? PID自動控溫系統(tǒng)

? 智能化50段可編程控制

? 默認DB9 PC通信連接端口

? 通過MET認證

 圖片4.png
外形尺寸

爐體尺寸：340mm×300mm×1300mm ( W x L x H)

爐膛尺寸：Φ80X200
凈重

? 約20 kg
認證

? 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

 圖片5.png
質(zhì)保期

? 一年保修，終身技術(shù)支持。
? 特別提示：

  1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

  2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。

應(yīng)用技術(shù)提示

·購買前請聯(lián)系我們，確定進出氣口以及閥門種類。

·石英管的長時間使用溫度＜1100℃。

·設(shè)備使用過程兩邊添加管堵，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性。

· 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。

·若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

警示

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公 司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。

? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。


真空系統(tǒng)

? 通過機械泵可達到10E-2 Torr.

? 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr.

圖片5.png

供氣系統(tǒng)

（可選）

? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計可供選擇，以實現(xiàn)氣體流量的精確控制。

單通道浮子

單通道質(zhì)子

兩通道浮子

兩通道質(zhì)子

多通道浮子

（防腐）

圖片6.png95870759.jpg圖片8.png37906452.jpg圖片10.png


減壓閥

? 可選用本公司減壓閥，以實現(xiàn)氣體壓力的精確控制。

圖片11.png


PC控制(選配）

? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

圖片12.png


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