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0.7L等離子清洗機(jī) (配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)
關(guān)鍵字：
3英寸 等離子 基片清洗
型號(hào)：
PDC-36G
產(chǎn)品概述：
PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進(jìn)行預(yù)處理，對(duì)生長具有顯著的作用 。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

0.7L等離子清洗機(jī)(配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)-PDC-36G （2019.11.26—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）
產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示
相關(guān)視頻

QQ截圖20191126111812.jpg

       操作視頻
設(shè)備特點(diǎn)

·結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器

·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物。

·在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好。

·鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣

·石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟，最大清洗一個(gè)2英寸的基片。

·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換

·使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別；低成本、操作安全。


圖片1.jpg    圖片2.jpg    圖片3.jpg
主要參數(shù)

·等離子直流電源：

低功率設(shè)定

直流680V

10mA

6.8W

中功率設(shè)定

直流700V

15mA

10.5W

高功率設(shè)定

直流720V

25mA

18W

·射頻源輸出頻率：13.56MHz；

·輸入電壓：220V,50Hz；

·壓力范圍：1-1999TOrr；



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部
機(jī)體結(jié)構(gòu)

等離子腔室：·直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟。

            ·高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長。

閥門：·1/8英寸針閥控制進(jìn)氣。

      ·1/8英寸三通球閥控制氣體進(jìn)出。

真空計(jì)：設(shè)備標(biāo)配一個(gè)電阻規(guī)和數(shù)顯電阻真空計(jì)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。


圖片4.jpg
工作氣體

·多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

·可以使用<4％的H2混合惰性氣體
等離子清洗及刻蝕的方法

工作原理

等離子清洗機(jī)工作原理
外形尺寸

·353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）


圖片4.jpg
凈重

（不含泵）8kg
質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書
認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證

  證書編號(hào)：M.2021.206.C67994

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)-6.jpg

科晶應(yīng)用技術(shù)實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備清洗基片，清除表面污染物，以供參考。


清洗前向基片上滴入0.05ml水滴，其結(jié)果如圖所示。通入氬氣清洗十分鐘后，向基片上滴入0.05ml水滴，其結(jié)果如圖所示。

石英

圖片5.jpg

圖1

清洗前

圖片6.jpg

圖2

清洗后

硅片

圖片7.jpg

圖3

清洗前

圖片8.jpg

圖4

清洗后


應(yīng)用技術(shù)提示

1、使用時(shí)間不建議超過一小時(shí)。

2、如果清洗機(jī)腔室，不能立即充氣，油會(huì)回流到腔室污染系統(tǒng)。真空泵需安裝防回油裝置。

3、為保護(hù)設(shè)備，設(shè)備工作后能立即關(guān)機(jī)，但關(guān)機(jī)后最好在10秒后再開機(jī)工作。  

4、腔室需定期進(jìn)行清洗。          

警示

1、腔室內(nèi)不能 通入正壓。

2、真空狀態(tài)下不要打開前級(jí)法蘭，防止損壞玻璃室。

5、此設(shè)備不能使用可燃性、腐蝕性及有毒有害氣體。


可選配件

1、您可以訂購額外的石英腔體，用于備用。

2、如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合。


圖片9.jpg

3、您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片。


圖片10.jpg

4、您可選配雙極旋片式真空泵進(jìn)行抽真空。


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相關(guān)產(chǎn)品
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