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高真空手動(dòng)擋板閥
產(chǎn)品概述:
此擋板閥屬于生產(chǎn)的儀器一般采用手動(dòng)真空擋板閥與真空系統(tǒng)相連接,主要起到真空泵防回油和CVD系統(tǒng)中控制抽氣速率等作用。手動(dòng)擋板閥具有安裝方便、操作安全可靠、使用壽命長(zhǎng)和密封效果好等特點(diǎn)。
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產(chǎn)品特點(diǎn)

此擋板閥屬于生產(chǎn)的儀器一般采用手動(dòng)真空擋板閥與真空系統(tǒng)相連接,主要起到真空泵防回油和CVD系統(tǒng)中控制抽氣速率等作用。手動(dòng)擋板閥具有安裝方便、操作安全可靠、使用壽命長(zhǎng)和密封效果好等特點(diǎn)。

  • 手動(dòng)真空擋板閥的裝卸都采用卡箍,簡(jiǎn)單方便,可根據(jù)使用者需求任意擺放。




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3.jpg

  應(yīng)用場(chǎng)景視頻


基本參數(shù)

2020.4.22—科晶實(shí)驗(yàn)室審核


名稱

接口參數(shù)

適用結(jié)構(gòu)或設(shè)備

圖片4.jpg 

GD-J(16)B手動(dòng)擋板閥

KF16接口×KF16接口

法蘭泵組

GD-J(25)B手動(dòng)擋板閥

KF25接口×KF25接口

法蘭、泵組

GD-J(40)B手動(dòng)擋板閥

KF40接口×KF40接口

法蘭、泵組

GD-J(50)B手動(dòng)擋板閥

KF50接口×KF50接口

法蘭泵組


型號(hào)

GD-J(25)B

GD-J(40)B

壓力范圍

PA

1*10E-6Pa~1.2*10E-6Pa(波紋管密封)

公稱通徑

mm

25

40

漏率

Pa·L/s

≤1.3*10E-7

首次維修循環(huán)次數(shù)

1000 000(波紋管密封)

600 000(氟膠圈密封)

閥體烘烤溫度

≤120℃

開啟或關(guān)閉時(shí)間

s

手操時(shí)間

閥門位置指數(shù)

——

機(jī)械指示

安裝位置

——

任意

周圍環(huán)境溫度

5~40

注意事項(xiàng)

  • 不用時(shí),請(qǐng)保持真空擋板閥清潔,并放在干燥室內(nèi)防止強(qiáng)烈震動(dòng)

  • 安裝前請(qǐng)將閥門和真空接觸的各個(gè)表面進(jìn)行清潔處理

  • 定期檢查,防止受潮、生銹和橡膠件老化



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