產(chǎn)品特點(diǎn) | · 采用觸摸屏控制,一鍵啟動(dòng)/停止多溫區(qū) · 諧波減速器+伺服電機(jī)保證提拉精度 |
感應(yīng)電源 | · 采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體,腔體尺寸:φ620*570mm,腔體最低真空度:0.5Pa · 腔體頂部的KF50接口與提拉機(jī)構(gòu)上的焊接波紋管連接,提拉桿通過(guò)此接口到達(dá)腔體內(nèi)部;腔門(mén)上有一個(gè)80*300mm的方形觀察窗口, · 設(shè)備安裝了一個(gè)LED照明燈,通過(guò)腔體頂部的一個(gè)石英窗口探照在腔體內(nèi)部。 · 腔體右側(cè)面有兩個(gè)KF25的接口,一個(gè)接口上安裝了一個(gè)KF25轉(zhuǎn)KF16的轉(zhuǎn)接頭,轉(zhuǎn)接頭上安裝了一個(gè)數(shù)顯真空計(jì);,另一個(gè)KF25接口為備用接口 · 含有兩個(gè)φ6.35mm的雙卡套接頭,一個(gè)為進(jìn)氣口,一個(gè)為出氣口,分別通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的通斷,出氣口安裝了一個(gè)安全泄壓閥,當(dāng)腔室內(nèi)氣壓達(dá)到上限壓力時(shí),安全閥自動(dòng)打開(kāi)排氣。 · 安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)真空度 · 腔體背面的KF40接口通過(guò)為抽真空接口,通過(guò)擋板閥和波紋管與真空系統(tǒng)連接。 · 腔體頂部預(yù)留一個(gè)石英觀察窗口,用于客戶后期安裝紅外測(cè)溫儀進(jìn)行高溫晶體生長(zhǎng); |
控溫系統(tǒng) | · 采用觸摸屏控制,一鍵啟動(dòng)/停止 · 該系統(tǒng)采用高分辨率觸感靈敏的電容屏作為操作界面 · 包含一塊歐陸儀表溫度控制器,控溫精度可到達(dá)±0.1°C,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置24段升溫程序。 |
提拉機(jī)構(gòu) | · 提拉桿:φ30mm的不銹鋼桿,提拉籽晶桿帶水冷機(jī)構(gòu),可以在旋轉(zhuǎn)和提拉的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)水冷功能,便于形成溫度梯度,利于單晶生長(zhǎng)。 · 提拉速度:0.05—10mm/h(可調(diào)) · 旋轉(zhuǎn)速度:0-120r/min(可調(diào)), · 最大提拉行程:300mm · 帶有手動(dòng)操作可快速升降 |
坩堝與保溫材料 | · 標(biāo)配兩個(gè)鎳坩堝和一個(gè)氧化鋁坩堝,鎳坩堝尺寸:φ88*φ82*150mm,φ88*φ82*105mm; 氧化鋁坩堝尺寸:ф60*60,試驗(yàn)時(shí),在氧化鋁坩堝內(nèi)放入物料,然后在其外部套上鎳坩堝 · 坩堝包裹在一個(gè)氧化鋁保護(hù)套內(nèi)(帶有上蓋),即可防止熱量流失也可將坩堝牢牢的固定在線圈上 · 保護(hù)套蓋子頂部帶有通孔,籽晶桿通過(guò)通孔達(dá)到坩堝內(nèi)部提拉生長(zhǎng)晶體; · 坩堝底部帶有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),一個(gè)調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品和坩堝旋轉(zhuǎn)。 · 坩堝旋轉(zhuǎn)速度:1-20r/min可調(diào) · 腔體底部有一鎧裝接口,一根S型熱電偶從接口穿過(guò)法蘭和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)到達(dá)坩堝底部,用于測(cè)量樣品溫度。 |
二次加料裝置 | · 設(shè)備頂部安裝了一個(gè)不銹鋼材質(zhì)的二次加料裝置,裝置內(nèi)部安裝了一個(gè)導(dǎo)料板,物料通過(guò)導(dǎo)料板滑入坩堝內(nèi) · 加料裝置底部為KF25接口,加料口內(nèi)徑:φ20mm · 內(nèi)置3個(gè)加料口,可在實(shí)驗(yàn)中加入三種不同或相同物料,每個(gè)加料口最多可加入物料為50ml。通過(guò)旋轉(zhuǎn)手柄的方式加料。 |
高清攝像可視化系統(tǒng) | ? 腔體前面觀察窗口位置安裝一個(gè)攝像頭和調(diào)節(jié)鏡頭對(duì)內(nèi)部樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)原位觀察。 攝像頭技術(shù)參數(shù): ? 400萬(wàn)星光級(jí)1/1.8” CMOS超寬動(dòng)態(tài)ICR日夜型槍型網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī) ? 最低照度:彩色:0.0005 Lux@(F1.2,AGC ON);黑白:0.0001 Lux@(F1.2,AGC ON) ? 寬動(dòng)態(tài):120db ? 最大圖像尺寸:2560*1440 ? 視頻壓縮標(biāo)準(zhǔn):H.265/H264/MJPEG ? 網(wǎng)絡(luò):1個(gè)RJ45 10M/100M 自適應(yīng)以太網(wǎng)口 ? 支持RS-485 ? 模擬輸出接口 1路(CVBS輸出BNC接口) ? 電源輸出:DC12V,100mA ? 接口類型:內(nèi)插式 ? 觀察的圖像可以實(shí)時(shí)的顯示在電腦顯示屏幕上 |
水冷設(shè)備 | · 型號(hào):KJ-7500 · 電源:AC 3P 380V 50HZ · 功率:8.86KW · 工作電流:2.1-18.9A · 制冷量:61416Btu/h · 水箱容量:70L · 出入水口:Rp1″ · 最大量程:117L/min |
真空系統(tǒng) | · 型號(hào):VRD-48 · 抽氣口接口尺寸:KF40 · 抽氣速率:13.3L/S · 電機(jī)功率:1500W · 極限壓強(qiáng):4*10-2Pa(不帶負(fù)載) · 實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘) · 如果想要獲得更高的真空度(10-5torr 或更高)可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組 |
產(chǎn)品外形尺寸 | · 單晶爐: 1760mm(L) x 1050mm(W) x 2730mm(H) · 水冷設(shè)備:700mm(L) x 1130mm(W) x 1455mm(H) · 感應(yīng)電源:1000mm(L) x 1450mm(W) x 1570mm(H) · 供電電源:400mm(L) x 750mm(W) x 1050mm(H) |
質(zhì)量認(rèn)證 | ·CE認(rèn)證 |
質(zhì)保 | · 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含石英,密封圈,加熱元件和樣品夾緊桿等易損件) |
凈重 | ·約400kg |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。 · 定期檢查控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱電源和感應(yīng)線圈的各連接點(diǎn)的連接是否緊固 · 爐溫不得超過(guò)額定溫。 · 此款設(shè)備必須在流動(dòng)氣氛下使用,但一定要保證管內(nèi)不出現(xiàn)正壓,在加熱之前請(qǐng)一定要確定設(shè)備是否處在負(fù)壓狀態(tài),在加熱期間時(shí)刻觀察壓力的變化, 如果由于膨脹氣壓超過(guò)表壓的0.05MPa處需立即停止加熱,防止出現(xiàn)安全問(wèn)題 |
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