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1200℃&130管徑mistcvd系統(tǒng)
型號(hào):
OTF-1200X-III-S-MCVD φ130
產(chǎn)品概述:
超寬帶隙氧化物晶圓霧化生長(zhǎng)設(shè)備 OTF-1200X-III-S-MCVD φ130主要是由三溫區(qū)管式爐、霧化裝置、真空機(jī)組以及供氣系統(tǒng)等組成。該設(shè)備可將溶于液體的物料通過超聲霧化裝置霧化輸送至爐管腔室內(nèi),再通過供氣系統(tǒng)創(chuàng)建腔室內(nèi)部氣氛環(huán)境(達(dá)到操作需要的氣氛環(huán)境),然后以此氣氛環(huán)境操作管式爐加熱等,燒結(jié)爐管內(nèi)樣品材料。(圖片僅供參考,請(qǐng)以實(shí)物為準(zhǔn))
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

? 霧化裝置:配有1.7MHz超聲霧化儀,可將液體霧化成液體顆粒,導(dǎo)入到管式爐中。
? 加熱部分(管式爐):管式爐最高溫度可以達(dá)到1200℃。

? 真空系統(tǒng):極限真空度為5×10-1Pa(不帶負(fù)載)


管式爐-加熱部分

? 電壓:?jiǎn)蜗? 220V AC,50/60 Hz

? 最大功率:5KW

? 連續(xù)工作溫度:1100℃

? 最高工作溫度:1200℃(<1h)

? 推薦升溫速率≤ 10℃/min

? 加熱元件:電阻絲

? 加熱區(qū)長(zhǎng)度:600mm(150mm+300mm+150mm)

控溫系統(tǒng):

· 三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

· 包含三個(gè)858P型溫度控制器

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 可設(shè)置50段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護(hù)

· 控溫精度為:+/- 1oC

· 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

爐管:

? 采用高純石英管

? 石英管尺寸:Φ130*1200mm

密封法蘭:

·一對(duì)φ130mm的水冷法蘭安裝在爐管兩端,采用硅膠O型圈密封;兩端法蘭上有水管接口,通過串聯(lián)的方式與水冷設(shè)備連接。

· 左端法蘭上的一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭為進(jìn)氣口,一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷;安裝了一個(gè)量程-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力;

  法蘭的KF接口上連接了一個(gè)快接接頭與霧化裝置相連;法蘭內(nèi)部安裝了一根進(jìn)霧管,使氣霧能直接到達(dá)基片的位置。

· 右端法蘭上的一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭為出氣口,一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷;安裝了一個(gè)安全泄壓閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力達(dá)到上限壓力時(shí),安全閥自動(dòng)打開排氣;

  一個(gè)KF25接口連接了一個(gè)不銹鋼三通,三通上的KF25接口與真空系統(tǒng)連接;三通上的KF16接口為備用接口,可選配安裝數(shù)顯壓力表。 

圖片7.png 圖片8.png  

超聲霧化裝置

·配置有1套超聲霧化裝置

霧化裝置參數(shù):

? 220VAC ,1.7MHz

? 液體罐標(biāo)配為316不銹鋼材質(zhì)(PTFE及其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進(jìn)行定制),并采用氟膠密封圈密封;

· 罐蓋上設(shè)有一個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)出霧口,進(jìn)氣口通過四氟管與供氣系統(tǒng)相連,出霧口通過水管連接到設(shè)備內(nèi)部。

? 可設(shè)置1-3檔霧化量,通過調(diào)節(jié)檔位大小,控制霧化量的多少;

? 可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化和定時(shí)運(yùn)行霧化兩種功能。定時(shí)時(shí)間從30分鐘到180分鐘可調(diào)

· 霧化片尺寸:1.2mm×φ20

注射泵參數(shù):

· 標(biāo)配一套液體注射泵,用于自動(dòng)進(jìn)液

· 標(biāo)配一個(gè)最大容積為60ml的注射針筒用于盛放溶液

· 4.3寸彩色液晶觸摸屏方便操作

· 線速度范圍:6.1um-120mm/Min

· 注射液體速度:3.9ul-76.5ml/min(按照60ml注射器計(jì)算)

· 適用注射器類型:10ul-60ml

· 控制精度:當(dāng)>30%滿程時(shí),控制誤差≤±0.3%

圖片9.png


供氣系統(tǒng)

· 型號(hào):GSL-3Z-LCD

· 電源:AC 220V 50HZ

· 功率:23W

· 流量計(jì)量程:一路:1-200sccm

        二路:1-200sccm

        三路:1-500sccm

· 精度:±1.5%FS

· 線性:±(0.5~1.5)%F.S.

· 重復(fù)精度:±0.2%F.S.

· 最大壓力:3*106Pa

· 供氣系統(tǒng)的混氣出口通過氣管與霧化罐的進(jìn)氣口相連。

圖片10.png

真空系統(tǒng)

· 型號(hào):VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機(jī)功率:370 W

· 極限壓強(qiáng):5×10-1Pa(不帶負(fù)載)

· 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng)


水冷設(shè)備(選配)

· 型號(hào):KJ-5000

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 壓縮機(jī)功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

· 外形尺寸:550*280*430mm

圖片11.png 

重量

·約180kg


外形尺寸

·2000mm(L)*800mm(W)*1400mm(H)

圖片12.png 

質(zhì)保期

? 一年質(zhì)保,終身維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件)


質(zhì)量認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件(>24V)都可以選擇通過UL/MET/CSA認(rèn)證

? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證




使用注意事項(xiàng)

· 石英腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),

 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。

 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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