| 設(shè)備名稱型號(hào) | ·1100℃&6英寸CVD系統(tǒng)（鈦合金法蘭、防腐型） GSL-1100X-6-3Z |
| 高溫爐參數(shù) | · 電源：AC 380V 50HZ · 功率：17.5KW · 最高加熱溫度：1100℃（＜1h） · 長(zhǎng)期使用溫度：1000℃ · 推薦升溫速率：≤10℃ · 加熱區(qū)長(zhǎng)度：900mm · 加熱元件：電阻絲 · 熱電偶：雙K型（其中一個(gè)為巡檢儀表） 溫控系統(tǒng)： · 包含一款858型溫度控制器； · PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)； · 智能化50段可編程控制； · 控溫精度：±1℃； · 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口； · 通過(guò)MET認(rèn)證； · 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；
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| 爐管 | · 爐管材質(zhì)：高純石英管 · 尺寸：ф6英寸*1320mm · 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性） |
| 密封法蘭 | · 一對(duì)鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端，采用氟膠O型圈密封 左側(cè)法蘭： · 安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表，用于觀察爐管內(nèi)的壓力 · 兩個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，分別通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷 · 其中一個(gè)進(jìn)氣口與氣液混合罐的出氣口連接，連接管道包裹了加熱帶，另一個(gè)進(jìn)氣口與供氣系統(tǒng)背面的混氣出氣口1連接。 右側(cè)法蘭： · 一個(gè)鎧裝接口可用于插入測(cè)溫?zé)犭娕?，測(cè)量樣品溫度 · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭為出氣口，一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷，一個(gè)KF25的接口連接了一個(gè)KF25轉(zhuǎn)KF16的轉(zhuǎn)接頭，KF16接口上安裝了電阻規(guī)。 安裝了一個(gè)安全泄壓閥，當(dāng)爐管內(nèi)氣壓達(dá)到上限壓力時(shí)，安全閥自動(dòng)打開排氣。 · 另一個(gè)KF25接口安裝了一個(gè)不銹鋼三通，三通上的KF25接口為抽氣口，與收集罐組件連接在一起。 · 三通的KF16接口上安裝了一個(gè)球閥組件，組件頂部安裝了一根螺紋式的排氣管。 |
| 氣液混合加熱裝置 | · 容量:300ml · 材質(zhì)：鈦合金 · 最大壓力：0.15MPa · 最高加熱溫度：150℃ · 氣液混合罐的進(jìn)氣口連接供氣系統(tǒng)的出氣口2 · 氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50 段升溫程序，控溫精度+/-1oC。 · 溫控盒上的兩個(gè)溫控儀表分別控制氣液混合罐與加熱帶的加熱。 |
| 供氣系統(tǒng) | · 型號(hào)：GSL-3Z-LCD · 流量范圍： 一路：1-100CSSM 二路：1-200CSSM 三路：1-500CSSM · 最大壓力：3*106Pa · 精度：±1.5% FS · 重復(fù)精度：±0.2% FS · 工作溫度：5-45℃
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| 真空系統(tǒng) | · 電源：AC 220V 50/60HZ · 功率：1KW · 抽氣速率：3L/S · 極限真空度：1.0*10-1Pa（不帶負(fù)載） 電阻真空計(jì)： · 電源：AC 220V 50HZ · 功率：≤6W · 測(cè)量范圍：1.0*10-1Pa~1.0*105Pa · 有效范圍：1.0*100Pa~1.0*104Pa · 測(cè)量環(huán)境：非腐蝕性密封容器 · 測(cè)量精度：＜±30% · 顯示方式：LCD數(shù)顯 · 配接硅管：ZJ-52T/KF16 · 面板尺寸：96*96 mm · 真空計(jì)配套的規(guī)管只能測(cè)量空氣和氮?dú)猓衅渌麣怏w成分比例較大的場(chǎng)合需另外修正。
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| 過(guò)濾桶組件 | · 兩個(gè)過(guò)濾器之間通過(guò)波紋管串聯(lián)在一起。過(guò)濾器尺寸：φ200*300mm，過(guò)濾桶內(nèi)裝有過(guò)濾介質(zhì)，右側(cè)過(guò)濾桶的另一個(gè)KF25接口與真空系統(tǒng)連接 · 真空系統(tǒng)的抽氣口頂部安裝了一個(gè)粉塵過(guò)濾器，過(guò)濾器參數(shù)如下: · 連接口徑：KF25 · 材質(zhì)：304不銹鋼 · 濾芯壽命：2000-4000H（可定期用壓縮氣體吹掃） · 流量：≥8L/S · 過(guò)濾精度：≤5um · 使用壓力范圍：1Pa~大氣壓（壓力小于1Pa后會(huì)面線影響氣體流速）
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| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號(hào)：CW-5000 · 壓縮機(jī)功率：0.3KW · 水流速率：16L/min · 水箱容量：6L · 溫度控制：5-30℃ |
| 設(shè)備外形尺寸 | ·2600mm（L）*800mm（W）*2100mm（H） |
| 重量 | ·約380KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項(xiàng) | · 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)， · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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