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750℃&5T真空平板熱壓機(jī)
型號：
VHP-5T-4
產(chǎn)品概述：
VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機(jī)，針對于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理最大樣品尺寸為350mm x 350mm。儀器最高工作溫度為750℃，在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為5T。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
基本參數(shù)

·電源：AC220V , 50 Hz 單相，總功率：15KW

·兩塊350mm x350mm加熱平臺，采用310S不銹鋼鋼制成，最高可承受溫度為750℃（＜30min）

·12根加熱管布置在上下加熱平臺的內(nèi)部，以達(dá)到快速加熱的效果

·兩個精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺，可設(shè)置30段升降溫程序
上下加熱平臺和真空腔體

·上下加熱平臺都安裝在真空腔體內(nèi)，上下加熱平臺尺寸：350*350mm

·上下加熱板平面度<0.03mm（在有效面積250mm*250mm范圍內(nèi)）

·真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形），真空度可以達(dá)到10-2torr

·內(nèi)部腔體尺寸為：長664×寬624×高719mm，厚度3mm

·可放入樣品最大尺寸：長*寬*高=350*350*200mm

·真空腔體前端有一直徑為φ150mm的觀察窗口

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·一個機(jī)械壓力表安裝在真空腔體上，用于觀察腔室內(nèi)真空度。預(yù)留的KF16接口可選擇安裝數(shù)顯真空計

·腔體左側(cè)面板含有兩個φ12的水管接頭，用于連接水冷設(shè)備，一個φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個球閥控制進(jìn)氣的通斷

·腔體背面有兩個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并分別通過一個球閥控制出氣的通斷

·腔體右側(cè)面有一個KF25和一個KF40的抽真空接口，方便客戶匹配各種型號的真空系統(tǒng)

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·腔體的四個面都安裝有風(fēng)扇，能降低腔體表面溫度
溫控系統(tǒng)

·兩個精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置50段升降溫程序，控溫精度為±1℃，750度恒溫時的溫度波動±10℃，,分別獨(dú)立控制兩個加熱平臺

·溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)

·最高工作溫度為：750℃（<30 min）

·最快升溫速率： 10℃/min

·軟件和PC接口安裝在控溫儀表上，可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中（另購）

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壓力控制系統(tǒng)

·最大壓力：5T（5000kg）

·絲桿可移動距離：200mm

·壓力顯示范圍：1.00-5000.00kg

·壓力控制范圍：30-5000Kg

·保壓時間：1-9999min

·設(shè)備有兩種工作模式：手動加壓和自動加壓。

 自動加壓模式下設(shè)備帶有恒壓功能：當(dāng)壓力值達(dá)到目標(biāo)值后，在保壓的過程中，設(shè)備持續(xù)補(bǔ)壓使壓力保持在設(shè)定值。恒壓精度：±3kg

·在手動模式下通過操作壓機(jī)面板上的按鈕，實(shí)現(xiàn)加壓泄壓過程
水冷設(shè)備（選配）

·兩個水冷板分別設(shè)置在上下加熱板上，在真空腔體內(nèi)部采用不銹鋼軟管進(jìn)行連接，腔體外部采用透明PVC水管連接水冷機(jī)

·可選購本公司循環(huán)冷水機(jī)進(jìn)行冷卻

·型號：KJ-6200

·工作電壓：AC 220V 50HZ

·工作電流：2.3-13A

·制冷量：17510Btu/h

·功率：3000W

·水箱容量：15L

·最大流量：70L/min

·凈重：82Kg 

·外形尺寸：600*470*890mm 

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真空系統(tǒng) （選配）

·型號：VRD-48

·抽氣速率：13.3 L/S

·電機(jī)功率：1500W

·極限壓強(qiáng)：4×10-1Pa（不帶負(fù)載）

·進(jìn)、排氣口連接口：KF40

·如果想要獲得更高的真空度（10-5toor 或更高）可選購國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

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外形尺寸

·1190L×1080W×1900Hmm

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重量

·約730Kg
質(zhì)保

·一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

·特別提示：

1、耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)



 注意事項

·不可過壓過溫使用，最高溫度為750度，最高壓力5T

·加熱前請務(wù)必通上水冷，防止損壞壓力機(jī)，使用前請檢查水冷機(jī)的水位情況及水冷機(jī)是否漏水

·現(xiàn)場請留有工作人員，防止突發(fā)事件發(fā)生

·保持整個機(jī)器的清潔。防止粉塵，最好將機(jī)器放在一個無粉塵的環(huán)境中工作

·當(dāng)收到設(shè)備后，在使用設(shè)備前請將上下加熱板上的防銹油用酒精或汽油等有機(jī)溶劑擦拭干凈


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