| 設(shè)備名稱型號 | ·1200℃超聲霧化PECVD系統(tǒng)（超聲頻率40KHZ） OTF-1200X-II-PECVD-PGEP |
| 高溫爐參數(shù) | ·電源：AC 220V 50HZ ·功率：3KW ·最高溫度：1200℃（＜1h） ·連續(xù)工作溫度：1100℃ ·推薦升溫速率：≤10℃/min ·熱電偶：K型 ·加熱元件：電阻絲 ·加熱區(qū)長度：400mm 溫控系統(tǒng)： ·兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制 ·包含兩個YD858P型溫度控制器 ·PID自動控溫系統(tǒng) ·智能化50段可編程控制 ·控溫精度：±1℃ ·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ·通過MET認(rèn)證 ·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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| 爐管和法蘭 | ·標(biāo)配一根φ100*1400mm的石英管 ·一對不銹鋼密封法蘭安裝在爐管兩端，采用硅膠O型圈密封 ·左端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為進氣口，一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷；安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力；一個KF25的接口與霧化噴頭連接 ·右端法蘭上的一個φ6.35mm的卡套接頭為出氣口，一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷；安裝了一個安全泄壓閥，當(dāng)腔室內(nèi)氣壓達到上限壓力時，安全閥自動打開排氣；一個KF25接口安裝了一個KF25-KF16-KF25的不銹鋼三通，KF25接口與收集罐連接，KF16接口上安裝了電阻規(guī) ·設(shè)備兩端安裝有支撐架支撐法蘭，爐管漏出爐體部分安裝了不銹鋼防護網(wǎng) |
| 超聲霧化裝置 | ·兩種超聲波霧化器可供選擇
第一款超聲波霧化器參數(shù)如下： ·電源：單相AC 220V/50HZ 1A ·最大功率：130W ·頻率：40khz±10% ·超聲波換能器：PZT（壓電陶瓷） ·超聲波換能器接口尺寸：KF25 ·有尖頭噴頭和蘑菇噴頭兩種噴頭（標(biāo)配一個KF-25的不銹鋼卡箍）
·兩個霧化頭的噴霧形狀不一樣，蘑菇頭是分散，尖頭是聚攏的，但產(chǎn)生的霧化顆粒直徑大小一樣 ·噴頭材料：由鈦合金制成 ·噴霧速度：0.1-10ml/min ·流體粘度范圍：≤20 cps ·可根據(jù)要求提供定制的噴嘴形狀，但需額外付費 第二款超聲波霧化器參數(shù)如下： ·220 VAC ，1.7 MHz ·液體罐標(biāo)配為316不銹鋼材質(zhì)（PTFE及其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進行定制），并采用氟膠密封圈密封 ·罐蓋上設(shè)有一個進氣口和一個出霧口，進氣口通過聚四氟管與氣瓶相連，出霧口通過水管連接到設(shè)備內(nèi)部 ·可設(shè)置1-3檔霧化量，通過調(diào)節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少 ·可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調(diào) ·霧化片尺寸：1.2mm×φ20 |
| 蠕動泵 | ·型號：BT100FJ ·流量: 0.051 - 51ml/minute （可調(diào)） ·轉(zhuǎn)速：0.1-100 rpm（可調(diào)） ·回吸速度：10-300rpm ·外形尺寸：160*300*170mm（長*寬*高）
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| 收集裝置 | ·含有兩個KF25接口，一個接口與右端法蘭相連接，一個接口通過不銹鋼波紋管與真空泵相連 ·含有一個外徑φ12mm出氣口，通過快速接口連接出氣軟管，當(dāng)設(shè)備抽真空時，軟管需用快插接頭堵住 ·收料筒最大容積700ml，有效容積150ml ·一個φ35mm的石英觀察窗口用于觀察桶內(nèi)收集物料的情況
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| 高壓電源 | ·功率：30W ·電壓：0-30KV ,正常工作電壓≤15KV ·電流：≤1mA ·電壓電流指示：額定輸出電壓下精度為1% |
| 射頻電源 | ·功率輸出范圍：0-500W ·功率穩(wěn)定度：≤±5W ·射頻頻率：13.56MHZ ·自動匹配 ·噪音：≤50dB ·冷卻方式：風(fēng)冷
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| 供氣系統(tǒng) | ·型號：GSL-6Z-LCD ·質(zhì)量流量控制器：500SCCM、5000SCCM（其余兩路為備用氣路） ·精度：±1.5%FS ·最大壓力0.3MPa ·內(nèi)部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管 ·內(nèi)置不銹鋼混氣罐
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| 真空系統(tǒng) | ·機械泵型號：TRP-12 ·電源：AC220V/50Hz ·功率：0.55KW ·極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） ·抽氣速率：3L/s ·抽氣口：KF25接口 ·可選配真空度更高的系統(tǒng)
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| 設(shè)備外形尺寸 | ·2500mm（L）*750mm（W）*1250mm（H）
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| 重量 | ·約290KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護 ·特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
注意事項 | ·石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓） ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） ·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責(zé) |
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