基本參數(shù) | ·小型開(kāi)啟式立式管式爐 ·工作電壓:208~240VAC ·最大功率6KW ·加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm ·額定溫度:1600℃ ·一個(gè)程序溫控器,獨(dú)立控制1個(gè)溫區(qū),控溫精度可達(dá)+/-0.1℃ ·用戶在使用過(guò)程中需要自己找到合適的溫度梯度 ·調(diào)節(jié)爐體打開(kāi)的直徑也可改變溫度梯度 ·設(shè)備中包含剛玉管和不銹鋼密封法蘭 |
爐體移動(dòng)機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)爐體上下移動(dòng) ·伺服電機(jī)+高精度直線模組保證爐體在移動(dòng)過(guò)程中不卡頓 ·爐體移動(dòng)有慢速提拉和快速移動(dòng)兩種模式 ·最大移動(dòng)行程:200mm ·移動(dòng)速度范圍:0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào),精度+/-1um) ·可根據(jù)客戶要求來(lái)定制爐體移動(dòng)速度范圍 |
密封法蘭 | ·一對(duì)不銹鋼密封法蘭,用于密封石英管 ·頂部法蘭安裝有壓力傳感器和Φ6.35mm出氣口 ·底部法蘭有KF25真空接口和Φ6.35mm的進(jìn)氣口 ·底部法蘭采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降,用于裝入和取出坩堝 ·設(shè)備中配有一直徑25mm×70mmH的石墨坩堝 ·坩堝臺(tái)安裝在底部法蘭上 ·真空度:10-2torr(采用機(jī)械泵),10-5torr(采用分子泵系統(tǒng)) |
控制面板 | ·觸摸屏控制面板可控制爐體移動(dòng)速度,移動(dòng)行程和爐體溫度和顯示坩堝的溫度,也可控制爐管內(nèi)部氣壓 ·配合加熱爐升溫曲線設(shè)置預(yù)提拉時(shí)間,例如設(shè)置5個(gè)小時(shí)后開(kāi)始提拉 ·溫度曲線功能,時(shí)時(shí)顯示兩條控溫曲線和坩堝底部溫度曲線,溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出 ·1個(gè)歐陸儀表(Eurothermo)控制一個(gè)溫區(qū),控溫精度+/-0.1℃ ·包含兩根B型熱電偶 一根熱電偶分用于控溫 一根熱電偶用于檢測(cè)坩堝底部的溫度 ·坩堝臺(tái)與底部法蘭相互連接 ·一個(gè)數(shù)顯壓力傳感器和電磁閥安裝在密封法蘭上,用于控制爐管內(nèi)氣壓恒定,控制范圍:0.01MPa-0.02MPa |
可選(需額外購(gòu)買) | ·真空度:10-2torr(采用機(jī)械泵) 10-5torr(采用分子泵系統(tǒng)) ·可在本公司選購(gòu)各種真空泵 ·對(duì)于一些特別氧敏感材料,可再用本公司的凈化系統(tǒng)(H2O,O2<1ppm) 分子泵系統(tǒng) 機(jī)械泵 凈化系統(tǒng) |
設(shè)備尺寸 | |
質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含損耗件,如加熱元件,爐管和密封圈等) |
設(shè)備凈重約 | ·200kg |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號(hào)-1 皖公網(wǎng)安備 34012302000974號(hào)