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1200℃五溫區(qū)液相外延法晶體生長(zhǎng)爐（針對(duì)YIG薄膜，LPE法）
型號(hào)：
VTF-1200X-LPE
產(chǎn)品概述：
VTF-1200X-LPE 是一個(gè)五溫區(qū)頂部籽晶提拉單晶制備（液相外延LPE）系統(tǒng)，可用于制備YIG等外延膜。該系統(tǒng)由立式五溫區(qū)加熱爐,頂部提拉系統(tǒng)和底部電動(dòng)送樣機(jī)構(gòu)組成，爐內(nèi)配有外徑150mm(6英寸)石英管，最高溫度可達(dá)1200℃，加熱爐配有歐陸溫控器，具有24段可編程程序，恒溫精度高達(dá)±0.1°C。此外還配備了精密的提拉機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，提拉速度0.02-10mm/h,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：1-60RPM。
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名稱型號(hào)

·1200℃五溫區(qū)液相外延法晶體生長(zhǎng)爐（針對(duì)YIG薄膜，LPE法）  VTF-1200X-LPE
產(chǎn)品特點(diǎn)

·控制系統(tǒng)采用觸控一體機(jī)控制

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失。

·該設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，分上中下三部分可以拆開運(yùn)輸，方便進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室和運(yùn)輸。

·電動(dòng)升降樣品臺(tái),便于客戶取放樣品和二次加料

·多片式石英管堵，提高潔凈度

·帶有石英的隔離內(nèi)腔

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加熱爐系統(tǒng)

·電壓：三相 AC380   50/60Hz

·最高溫度: 1200℃ (<30min)

·加熱爐最大功率：17KW

·額定溫度: 1100℃

·推薦升溫速率：≤10℃/min

·加熱區(qū)長(zhǎng)度：五個(gè)溫區(qū)1000mm(5*200mm)，每個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制

·控溫精度：±1℃

·熱電偶：五根K型熱電偶

·加熱元件：康泰爾電阻絲

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溫控系統(tǒng)

·采用觸摸屏+溫控器模式

·包含一款歐陸EPC3000系列控制器

·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

·智能化24段可編程控制

·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

·控溫精度：±1℃

·所有的電氣元件都通過(guò)UL或MET認(rèn)可，并可通過(guò)世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試

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提拉機(jī)構(gòu)

·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來(lái)驅(qū)動(dòng)籽晶桿上下移動(dòng)

·私服電機(jī)+高精度直線模組保證籽晶桿在移動(dòng)過(guò)程中順滑

·籽晶桿移動(dòng)有慢速提拉和快速移動(dòng)兩種模式

·籽晶桿可移動(dòng)范圍：750mm

·提拉速度范圍：0.02mm/hr--10mm/hr(可調(diào)，精度+/-1um)

·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：1-60RPM

·籽晶桿裝到三抓夾頭上，三抓夾上方裝有彈簧可以調(diào)節(jié)籽晶桿旋轉(zhuǎn)時(shí)同心度

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觸摸屏控制

·觸摸屏控制面板可控制單晶提拉速度，籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度和加熱爐的升溫曲線

·觸摸屏控制面板可以控制樣品臺(tái)升降

·具有溫度曲線保存功能，溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出

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法蘭，管子，樣品臺(tái)

·爐膛內(nèi)裝有一根外徑150*1175mmm石英管     

·石英管通過(guò)上下法蘭固定，不銹鋼法蘭為非密封的（注：法蘭主要作用是支撐石英管）

·爐膛上部通過(guò)石英管堵保溫，下部通過(guò)泡沫陶瓷管堵保溫

·下法蘭裝有支撐桿和樣品臺(tái)

·樣品臺(tái)可放置最大坩堝直徑100mm

·樣品臺(tái)和坩堝采用電動(dòng)升降方式，方便取放樣

·下法蘭和固定板之裝有四個(gè)彈簧，可以調(diào)節(jié)下法蘭水平

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產(chǎn)品尺寸

·外形尺寸：1020*1185*3420mm（長(zhǎng)*寬*高）

·下部外形尺寸：1020*1185*800mm（長(zhǎng)*寬*高）

·中部外形尺寸：1020*1185*1300mm（長(zhǎng)*寬*高）

·上部外形尺寸：1020*1185*1320mm（長(zhǎng)*寬*高）

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重量

·約290kg
保質(zhì)期

·1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）
操作展示視頻

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