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管式爐真空自動滑行裝置
型號:
EQ-Slide-300
產(chǎn)品概述:
免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差,請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細信息及更多參數(shù),請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請勿將此參數(shù)用于招標文件或者合同,科晶公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶,購買前請與工作人員溝通,以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
特點

EQ-Slide-300 是一款真空自動滑行裝置,連接外徑80 mm爐管可在真空或氣氛下移入和移出樣品;

系統(tǒng)分為兩種工作模式,一種為快速移動模式,可以實現(xiàn)樣品的快速升溫和快速降溫;另一種為慢速移動模式,可以實現(xiàn)單晶和二維材料的生長。

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移動機構(gòu)

·精密螺桿由直流電機通過真空密封可伸縮的波紋管以兩種速度驅(qū)動:

 快速移動模式:300mm/min(恒速)

 慢速移動模式:0.5mm-30mm/min(可調(diào))

·樣品移動距離:1-300mm(可調(diào))

·移動機構(gòu)安裝在移動工作臺上,尺寸為600mmx600mmx600mm



爐管/法蘭

·一套 KF25 真空接口和外徑 80 mm 真空密封法蘭,用于連接可伸縮波的紋管和帶有KF25接口的爐管; 

·可根據(jù)客戶要求,選配φ100,φ60,φ25等其它尺寸,具體詳詢我們銷售人員

·真空度:10-5 torr

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樣品架

·波紋管中間安裝一根帶有隔熱管堵的不銹鋼棒,棒中插入一根50x50mm石英樣品架,用于盛放CVD或退火的樣品

·移動機構(gòu)底部有一個高度可調(diào)的工作臺,可以方便對齊

·可以在樣品架下方放置一根 K 型熱電偶,用于監(jiān)測溫度

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控制面板

移動爐架上,有個7英寸觸摸屏面板和控制盒,可對所有移動參數(shù)進行編程和記錄/顯示樣品的溫度



尺寸圖

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操作視頻

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應(yīng)用提示

該設(shè)備僅匹配合肥科晶管式爐,如下鏈接

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