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微型2通道混氣CVD真空管式爐 (配50mm石英管和防腐真空計)
關鍵字:
微型 二通道
型號:
OTF-1200X-S50-2F
產品概述:
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供50段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
高溫爐

殼體

· 采用雙層殼體

· 爐膛采用多晶氧化鋁纖維,最大程度減小能量損失

內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度


功率

功率

1.75KW

電壓

 AC -220V 

溫度

· 最高工作溫度:1200℃(< 1hr

· 連續(xù)工作溫度1100 

升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)


加熱區(qū)長度: 8" (200mm)

溫控系統(tǒng)

· 50段程序化控溫

· 控溫精度: +/- 1℃  

控溫儀表操作視頻

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,使其最大程度延長使用壽命)


兩路混氣系統(tǒng)

· 兩個浮子流量計量程為16 100mL/min 

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三個機械壓力表:-0.1-0.15 MP

· 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥

· 后端裝有φ6.35卡套接頭,無需通電

· 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

· 凈重: 14 lbs.

             


真空法蘭和配件

結構 
                           
         
標準真空配件:

· 一個防腐型真空計

· 一個φ6.35的卡套接頭

· 兩個KF25轉接頭

一個600mm的不銹鋼波紋管


防腐型真空計

本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)
     blob.png


真空泵

我公司有多種真空泵可選,請點擊圖片,或是致電我公司銷售
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產品凈重

100 lbs


產品尺寸

· 爐體:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm


運輸重量

 200lbs


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
              


質保期

一年質保期(不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件)


質量認證

若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

     

使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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