加熱元件?& 輸入功率 | ·可選購2種加熱元件
·FeCrAl 合金絲: 最高溫度800oC ,功率400W
·鉬絲:最高溫度1000oC ,功率 800W ( 必須在真空或惰性氣體保護環(huán)境下使用,不適用于CVD/ALD等相關(guān)應用中)
·輸入電壓: 0 - 35 VAC ,50/60Hz |
加熱臺 | ·儲存:78 mm OD x 85 mm H + .支撐桿 ( Φ10 mm x 62 mm L )
·加熱均勻區(qū):Φ51 mm (+/- 5oC)
·加熱速率: 5oC/min
·熱電偶: K 型 |
溫控器 | ·可選購SCR溫度控制器 ·30 段升降溫程序 ·PID 方式調(diào)節(jié)溫度 ·控溫精度:+/-1℃ |
尺寸 | |
重量 | ·1kg |
質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保期,終身維護 |
應用 | 可用與DIY各種設備,如下圖 蒸鍍儀 冷壁CVD CSS爐 磁控濺射儀 ALD系統(tǒng) |
使用注意事項 | ·選用鉬絲作為加熱元件時,必須在真空或惰性氣體保護環(huán)境下使用,不適用于CVD/ALD等相關(guān)實驗中,以免反應氣體損壞鉬絲 |
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