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1200℃三溫區(qū)開啟式立式管式爐
關(guān)鍵字：
三溫區(qū)
型號(hào)：
OTF-1200X-III-VT
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-III-VT是一款三溫區(qū)的立式管式爐，最高溫度可達(dá)到1200℃。此款管式爐不僅可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行快速地?zé)崽幚砗痛慊?，同時(shí)也可用PVD、CSS和CVD方法來(lái)制作薄膜。三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來(lái)控制，每個(gè)溫區(qū)可設(shè)置50段升降溫程序，其控溫精度為+/-1℃，爐體下端安裝有一移動(dòng)爐架，以便于設(shè)備移動(dòng)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

1200℃三溫區(qū)開啟立式爐-OTF-1200X-VT-III
爐體結(jié)構(gòu)

l采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

l爐體設(shè)計(jì)為開啟式，以方便與更換爐管

l采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命
基本參數(shù)

溫度：長(zhǎng)期1100℃ （1200℃＜1h）

建議升溫速率：≤10℃/min

熱偶：K型熱偶    

電壓：AC208-240，50Hz  


最大功率： 7KW
爐管尺寸

以下幾種尺寸的高純度石英管可選：


lOD：Φ50 mm×L1000mm


lOD：Φ60 mm×L1000mm


lOD：Φ80 mm×L1000mm


lOD：Φ100 mm×L1000mm
加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度：900mm (三溫區(qū)300+300+300mm)
加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命）
溫控系統(tǒng)

l包含一款YD858P型溫度控制器


lPID自動(dòng)控溫系統(tǒng)


l智能化50段可編程控制


l控溫精度：±1℃


l默認(rèn)DB9 PC通信連接端口


l可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環(huán)，以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進(jìn)行燒結(jié)

2.可選：本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空計(jì)

  

3.多種接頭可選，具體請(qǐng)咨詢銷售部
外形尺寸

 1300（L）×630（W）×1780（H）（2019.11.14--JS2）
質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
真空系統(tǒng)

l通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr.（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）

l通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr.（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）

l漏氣率< 5 mTorr / min.（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）
質(zhì)量認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證

  證書編號(hào)： M.2021.206.C67997

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
使用注意事項(xiàng)

l 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

l 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

l 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃。

l 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。

l 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊。

l 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
免責(zé)聲明

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